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技术参数
迈特光学 MZDA1490系列高对比度同轴照明连续变倍单筒视频显微镜(晶圆、芯片、LCD制造专业设备)包括MZDA1490BC(双目)、MZDA1490BTC(三目),此系列是同轴照明显微镜中的高级产品,独创的成像和照明光学系统设计,使它有更好的对比度和景深,能同时进行视频显示和双目目视观察,目视观察成正像。适用于反射物体的观察和检测,特别适合LCD、平面印刷品和其它低反射率平面物品的检测。
MZDA1490BC
MZDA1490BTC
主机ZDA1490BC
●
主机ZDA1490BTC
目镜WFH10X/22
●●
眼罩
底座SD11J-D
LED光源 MLC1000
80X目视观察集成电路效果图
目镜
主机
加0.7X附加物镜
加2X附加物镜
10X/Φ22
总放大倍率
14X~90X
9.8X~63X
28X~180X
视场范围(mm)
Φ15.7~Φ2.44
Φ22.4~Φ3.5
Φ7.86~Φ1.22
15X/Φ17
21X~135X
14.7X~94.5X
42X~270X
Φ12.14~Φ1.89
Φ17.35~Φ2.7
Φ6.07~Φ0.94
20X/Φ14
19.6X~126X
56X~360X
Φ10~Φ1.56
Φ14.29~Φ2.22
Φ5~Φ0.78
30X/Φ9
29.4X~189X
84X~540X
Φ6.43~Φ1
Φ9.18~Φ1.43
Φ3.21~Φ0.5
工作距离(mm)
103
145
35
变倍主体连续变倍范围1.4X~9X
CCD接头
0.5X
1X
主机 (无附加物镜)
总光学放大倍率
0.7X~4.5X
1.4X~9X
5.14X6.86~0.8X1.07
2.57X3.43~0.4X0.53
工作距离(mm)
0.7X
0.49X~3.15X
0.98X~6.3X
7.35X9.8~1.14X1.52
3.67X4.9~0.57X0.76
2X
2.8X~18X
1.29X1.71~0.2X0.27
型号名称:C0.5、C1.0 CCD接头, DT01数码相机接头、PT01显微摄影装置 说明:CCD接头、DT01数码相机接头、PT01显微摄影装置与三目观察头配合使用可进行视频显示、数码照相、显微摄影。选用0.5X或1.0X CCD接头可改变视频显示的总倍率。
CCD接头+摄影装置
型号名称:CDM1.0 1X带测微尺CCD接头 说明:内含0.1mm/格十字测微尺,测微尺与被观察物同时显示于显示屏,可直接进行长度测量,通过软件可进行高精度长度测量。 安装:将此部件拧进CCD接头上端螺纹,CCD摄像头直接拧进此部件上端的C型接口。
CDM1.0使用示例
CDM1.0 1X带测微尺CCD接头
C1.0+CDM1.0+CCD
10X广角目镜WFH10X/22(FNΦ22mm) 15X广角目镜SWF15X (FNΦ17mm) 20X广角目镜SWF20X (FNΦ14mm) 30X广角目镜SWF30X (FNΦ9mm)
10X分划目镜WFH10X-CM0.1XY(0.1mm/格) 15X分划目镜SWF15X-CM0.05XY(0.05mm/格) 20X分划目镜SWF20X-CM0.05XY(0.05mm/格)
分划目镜
一字测微尺CML0.01(0.01mm/格) 十字不带刻度分划板CM 十字水平带刻度分划板CM0.1X(0.1mm/格)CM0.05X(0.05mm/格) 十字垂直水平带刻度分划板CM0.1XY(0.1mm/格)CM0.05XY(0.05mm/格) 网格板CMS0.2(0.2mm/格)CMS0.5(0.5mm/格)
测微尺
型号名称:0.7X附加物镜DA-W0.7,2X附加物镜DA-W2.0 说明:选用附加物镜,可改变总的放大倍率和工作距离,有0.7X,2X两种规格可选。 0.7X附加物镜DA-W0.7 工作距离:145mm, 2X附加物镜DA-W2.0 工作距离:35mm
附加物镜
型号名称:S10086机械式载物台 说明:·将被观察物置于机械载物台上,方便于XY方向移动标本,易于找图象 ·X方向移动范围100mm Y方向移动范围86mm
S10086
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